TFT-LCD 공정의(定義) 작업환경
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작성일 23-03-08 13:12
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Manufacturing Process
순서
액체와 고체의 중간상태에 있는 물질
TFT가 형성되어 있는 아래 유리기판
TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD)
제어된 빛은 Color Filter를 통과하면서 원하는 색과 영상으로 표현
Plasma 내의 gas ion이 target 표면과 충돌하여 target 입자들이 기판에 증착되는 공정
원리
레포트 > 공학,기술계열
화학물질이나 反應성 GAS를 사용하여 필요 없는 부분을 선택적으로 제거 시키는 공정
설명
TFT-LCD(Thin Film Transistor LCD) LC(Liquid Crystal) Manufacturing Process TFT Process Cell Process Module Process Hazards MSDS & NFPA 704 M Code
TFT Process
굴절율, 유전율, 전도율, 점성율 등의 물성값이 분자 장축의 평행 방향과 수직 방향에 따라 다름.
Cell Process
액정은 전압에 따라 분자구조를 달리하여 빛의 투과를 제어
증착에 필요한 gas를 주입하여 Plasma 상태로 분해하여 기판위에 증착하는 공정 증착되는 물질은 절연막과 반도체막으로 나눠지며 절연막 - 게이트 절연막, 보호막, etch stopper막 반도체막 활성 층을 이루는 비정질 실리콘(a-Si:H)접촉 저항층을 이루는 비정질 실리콘막(n+ a-Si:H)
구성
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Hazards
LC(Liquid Crystal)
Module Process
액정
TFT 와 Color Filter 사이에 주입된 액정(LC)으로 구성
Color Filter가 형성되어 있는 윗 유리기판
TFT는 전기적 신호를 전달, 제어
TFT-LCD 공정의(定義) 작업환경
막대모양의 구조
음극표면에 target 물질을 장착 증착물질의 특성에 影響을 주지 않는 He, Ar 등의 불활성 기체를 이용하여 양극에 놓여진 기판 위에 튀어나온 target 물질이 증착
MSDS & NFPA 704 M Code
反應속도가 빠르고 미세 형상을 식각할 수 있으며, 진공 chamber 내에서 反應이 이루어지므로 안전상 유리하다
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다.
