진공펌프의종류및특징
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작성일 25-07-05 13:34
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관구에 들어가는 회로는 다음과 같은 휘트스톤 브리지이다. 이 필라멘트에 전류를 흘려서 전기저항을 측정(測定) 함으로써 온도를 통해 필라멘트에서 상실된 열을 알고, 그 측정(測定) 값을 통해 간접적으로 진공장치 안의 진공도를 측정(測定) 한다. 위의 그림과 같이 휘트스톤 브리지에서 통상 알고자하는 저항대신 고온 필라멘트로 대치하면 튜브 속의 고온의 필라멘트가 압력에 비례하여 기체분자에 의해 열을 뺏겨 저항이 감소된다 이 저항의 變化(변화)가 검류계 A에 전류로 나타나고 가변저항 R3를 조절하여 검류계 A에 흐르는 전류를 없애면 저항 R4를 구할 수 있따 하지만 피라니 게이지는 필라멘트의 온도가 기체의 열전도에 의한 분산 뿐만이 아니고 도선에서 상실되는 열이나 주위의 온도조건 등에도 影響을 받기 때문에 자주 교정(較正)을 필요로 하는 어려운 점도 있따 진 공 펌 프 ☞ 확산 펌프 (D…(skip)
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레포트/공학기술
다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한쪽 끝을 진공장치에 연결한 것이다.
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피라니 게이지 피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정(測定) 하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다.
