바이오나노학부 나노 공학실험 보고서 spin coating
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작성일 23-01-19 19:15
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5~8까지는 농도를 변수로 잡았다. 그 후 기계를 작동시키면 material이 원심력으로 인해 바깥으로 뻗어나간다. 번호순서대로 4%, 6%, 8%, 10
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설명
실험과제/기타
다. PMMA(Poly Methyl Methacrylate)를 농도 및 회전속도에 따라 분류하여 Thickness가 어떻게 달라지는 지 알아보았다. 이번 experiment(실험)에서 조건은 1~4까지는 속도를 변수로 잡았다. 번호순서대로 1000rpm, 3000rpm, 5000rpm, 7000rpm 이고 시간은 1분 농도는 10%이다.
②8조각의 슬라이드 글라스에 번호를 표시한 후 각 번호에 따라 조건을 설정한다. material이 wafer위에 올라있는 채로 Spin coating 기계를 rpm을 설정한 후 wafer와 기계 사이에 진공을 잡아 wafer를 고정시킨다.
두께를 측정(measurement)하는 방법에는 UV/Visible Spectroscopy와 α-step 2가지로 나눌 수 있다
첫째 UV/Visible Spectroscopy 는 유/무기 화합물의 정량, 임상experiment(실험) 등에 널리 쓰이는 分析(분석)기기이며, 화합물의 구조를 밝히는데도 어느 정도의 정보를 제공하지만, 구조의 파악보다는…(투비컨티뉴드
)
① ②
3. Materials and Method.
①슬라이드 글라스 2개를 다이아몬드 칼을 이용하여 8조각으로 나눈다. 전방위로 뻗어나간 material이 wafer를 coating한다.
2. experiment(실험) 理論(이론)
-Spin coating의 원리는 원심력이다.Download : 바이오나노학부 나노 공학실험 레포트 spin coating.hwp( 86 )
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