전기工學 experiment(실험) - 면저항 experiment(실험)(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 …
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작성일 23-12-06 06:38
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Van der pauw’s method은 4 point probe에 비하여 박막의 면저항 측정(測定) 에 많이 사용되진 않지만 국부면이 아닌 전체면에 대하여 비교적 간단하게 측정(測定) 할 수 있으며, 측정(測定) 탐침은 최외곽 가장자리 위치에서만 사용하므로 비교적 4 point prob…(skip)
3. test(실험) 결과
4 point probe의 보정계수는 4.53이고 전류범위는 auto로 설정해 놨는데 이때 전류의 범위를 잘못 측정(測定) 하면 재료가 탈 수 도 있다
다.실험과제/기타
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설명
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전기工學 experiment(실험) - 면저항 experiment(실험)(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
1.test(실험) 목적
면저항(Sheet Resistance)의 定義(정의) 을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정(測定) 하고 측정(測定) 값과 theory(이론)값을 비교한다.여기서 전체저항과 면저항을 구분하기 위해 /을 한다.
비저항 은 단위면적당 단위길이당 저항을 말한다.
한 변의 길이가 1cm인 정육면체를 표준으로 한다.
2.문제
면저항의 定義(정의):비저항, R:전체 저항
:면저항(Sheet resistance)
,
전체저항은 크기에 influence(영향)을 받기 때문에 저항을 비교하기 위해서는 크기를 통일한다. 이는 물리적 의미는 없다.
비저항 은 물질마다 고유의 값을 가지고 있다
Van der pauw’s method
Van der pauw’s method은 비저항 측정(測定) 방법이다.
t : 두께 , f(r) : 비율의 함수
test(실험) 을 준비하는데 있어 시편 준비 등 일이 많아 4 point probe를 사용한다.
